Người mở đường cho kỹ thuật quang khắc ngậm nước

Không nhiều người trong ngành công nghiệp bán dẫn biết tường tận về con đường học thuật và nghiên cứu của Giáo sư Lâm Bản Kiên (Burn-Jeng Lin) – người đã tạo nên bước ngoặt cho ngành vi mạch toàn cầu. Ông sinh năm 1942 tại khu Chợ Lớn, TP HCM, trong một gia đình gốc Hoa. Niềm đam mê khoa học đã đưa ông rời Việt Nam sang Đài Loan (Trung Quốc) để theo học ngành kỹ thuật điện tại Đại học Quốc gia Đài Loan, trước khi du học và hoàn thành chương trình tiến sĩ tại Đại học Bang Ohio, Hoa Kỳ.

Suốt 18 năm từ 1975 đến 1993, ông công tác tại trung tâm nghiên cứu danh tiếng IBM Thomas J. Watson Research Center - nơi hội tụ những bộ óc tinh hoa trong lĩnh vực công nghệ vi mạch. Tại đây, ông đóng vai trò quan trọng trong việc phát triển nhiều công nghệ quang khắc tiên tiến, đặc biệt là ý tưởng kỹ thuật quang khắc ngậm nước (immersion lithography).

Vào đầu những năm 2000, khi công nghệ chế tạo chip bắt đầu chạm ngưỡng giới hạn vật lý do kích thước bóng bán dẫn ngày càng thu nhỏ, ông đã tiên phong đề xuất sử dụng một lớp nước siêu tinh khiết giữa thấu kính và wafer nhằm tăng chiết suất quang học, qua đó cải thiện độ phân giải và cho phép chế tạo chip với mật độ cao hơn. Mặc dù ban đầu vấp phải hoài nghi từ các tập đoàn lớn như Intel, IBM hay AMD. Riêng TSMC - với tầm nhìn chiến lược - đã trở thành công ty đầu tiên tin tưởng, đầu tư và triển khai kỹ thuật này trên quy mô công nghiệp.

Kết quả mang tính cách mạng: TSMC trở thành nhà sản xuất chip theo hợp đồng đầu tiên trên thế giới ứng dụng thành công quang khắc ngậm nước, mở ra thế hệ chip có mật độ bóng bán dẫn cao hơn, hiệu năng vượt trội hơn và tiêu thụ năng lượng thấp hơn. Sự đột phá này không chỉ giúp TSMC vượt mặt các đối thủ lâu đời mà còn củng cố vị thế dẫn đầu toàn cầu của công ty trong lĩnh vực sản xuất chip tiên tiến.

Chính Giáo sư Lâm Bản Kiên là người trực tiếp phụ trách quá trình nghiên cứu, chuyển giao công nghệ và đào tạo đội ngũ kỹ sư của TSMC để triển khai thành công giải pháp mới. Với hơn 60 bằng sáng chế quốc tế, ông được vinh danh là Fellow của IEEE – tổ chức kỹ thuật điện và điện tử uy tín bậc nhất thế giới – và là viện sĩ của Viện Hàn lâm Kỹ thuật Quốc gia Hoa Kỳ.

Ông Lâm Bản Kiên (phải) và Ông Trần Kim Chung - Chủ tịch CT Group (trái)

Nơi hun đúc tầm nhìn và di sản của một con người kiệt xuất

Nơi gắn bó sâu sắc nhất sau khi ông rời Mỹ là Đại học Thanh Hoa Đài Loan – một trung tâm học thuật uy tín hàng đầu khu vực. Được thành lập từ năm 1956 tại thành phố Tân Trúc, Đại học Thanh Hoa là cái nôi đào tạo và nghiên cứu chiến lược trong lĩnh vực khoa học kỹ thuật, đặc biệt nổi bật với các ngành công nghệ cao như vi điện tử và bán dẫn.

Với vị trí đắc địa nằm trong Công viên Khoa học Tân Trúc – được ví như "thung lũng Silicon châu Á" – Đại học Thanh Hoa đóng vai trò kết nối chặt chẽ giữa học thuật và công nghiệp. Trường không chỉ cung cấp nền tảng lý thuyết mà còn liên tục cập nhật thực tiễn sản xuất và R&D từ các tập đoàn công nghệ hàng đầu như TSMC, UMC, ASE, MediaTek và nhiều công ty bán dẫn đa quốc gia khác.

Khoa Nghiên cứu Bán dẫn của trường, nơi Giáo sư Lâm Bản Kiên đảm nhiệm vai trò Trưởng khoa, là một trong những đơn vị tiên phong trong đào tạo kỹ sư và thực hiện nghiên cứu chuyên sâu về công nghệ chế tạo chip, thiết kế hệ thống tích hợp (SoC), kỹ thuật quang khắc EUV, MEMS, packaging và nhiều công nghệ tiên tiến khác. Ông không chỉ là nhà khoa học dẫn đầu mà còn là người thầy trực tiếp xây dựng chương trình đào tạo, dẫn dắt các dự án hợp tác liên ngành và định hình chiến lược phát triển của toàn bộ ngành học.

Sự kết hợp giữa tinh thần nghiên cứu nghiêm túc và khả năng đổi mới liên tục đã giúp Đại học Thanh Hoa trở thành trung tâm công nghệ vi mạch hàng đầu châu Á. Thành tựu mà ông để lại không chỉ là hàng loạt sáng kiến kỹ thuật, mà còn là một thế hệ kỹ sư bán dẫn được đào tạo bài bản, đang góp phần định hình tương lai của ngành công nghiệp Bán dẫn toàn cầu.