Khóa đào tạo được tổ chức cho 12 học viên là cán bộ kỹ thuật, giảng viên đến từ Trung tâm Nghiên cứu Triển khai Khu Công nghệ Cao, Đại học Sư phạm kỹ thuật, Học viện kỹ thuật Mật Mã-Ban Cơ Yếu Chính phủ. Đây là một trong những nhiệm vụ mà Uỷ ban Nhân dân TPHCM giao cho Ban quản lý Khu Công nghệ Cao chủ trì, Trung tâm R&D là đơn vị thực hiện Đề án Đào tạo thiết kế, chế tạo vi cơ điện tử (MEMS) và ứng dụng đã được UBND TPHCM giao triển khai trong năm 2016. Khoá đào tạo này là một thành phần trong “Đề án tổng thể phát triển vi cơ điện tử (MEMS)” do Ban quản lý Khu CNC TPHCM chủ trì, thuộc các chương trình, dự án nhánh của Chương trình Phát triển Công nghiệp vi mạch Thành phố Hồ Chí Minh giai đoạn 2013-2020.
Các kỹ sư thiết kế chế tạo MEMS được nhận bằng tốt nghiệp tại Lễ bế giảng
Khóa đào tạo MEMS được triển khai trong 5 tháng từ tháng 8- 12/2016 tại phòng thí nghiệm bán dẫn thuộc Trung tâm R&D với sự hướng dẫn của Giáo sư Susumu Sugiyama (Tổ chức SORIST– Nhật Bản) bằng hình thức giải mã công nghệ chế tạo cảm biến áp suất kiểu áp trở dựa trên nền vật liệu wafer Si 4 inch và đóng gói ra sản phẩm cuối cùng với thông số của cảm biến áp suất kiểu áp trở đạt được sau khi chế tạo như sau: 2,5×2,5 mm, kích thước màng 1,2×1,2 mm, chiều dày màng 15μm, R là 1000 Ohm… Trong khoá đào tạo này, các kỹ sư đã trải qua toàn bộ các khâu trong một quy trình khép kín từ khâu thiết kế đến chế tạo linh kiện cảm biến áp suất kiểu áp trở … tất cả các công đoạn đều thực hiện tại phòng sạch Trung tâm R&D Khu CNC. Ngoài ra, các học viên cũng tiến hành đóng gói sản phẩm (packaging) và tích hợp sản phẩm vào một ứng dụng cụ thể là hệ thống đo mực nước. Đây là một bước tiến lớn trong việc tiếp cận công nghệ đóng gói cảm biến từ các chuyên gia Nhật bản truyền đạt.
Kết quả khóa đào tạo này, ngoài việc các học viên đã nắm bắt được công nghệ chế tạo cảm biến áp suất kiểu áp trở bằng công nghệ MEMS hướng đến tạo ra các sản phẩm cảm biến áp suất kiểu áp trở dạng thương mại sẽ ứng dụng vào nhiều lĩnh vực đời sống: chống ngập, kẹt xe, nông nghiệp, đô thị thông minh…
Theo ông Ngô Võ Kế Thành, Giám đốc Trung tâm R&D: “Khóa đào tạo này các học viên đã làm ra 5 loại thiết kế khác nhau, trong năm 2017 sẽ chọn ra một mẫu thiết kế ứng dụng vào hệ thống dự báo mức độ ngập nước ở TPHCM và nhiều ứng dụng khác sẽ được triển khai trong những năm tiếp theo.”
Từ những kết quả hợp tác ban đầu trong đào tạo, hỗ trợ chuyển giao công nghệ chế tạo cảm biến áp suất kiểu áp trở của Giáo sư Susumu Sugiyama và được sự chấp thuận của Uỷ ban Nhân dân TPHCM, Ban quản lý Khu Công nghệ Cao TP.HCM cũng đã tiến hành ký kết hợp đồng mời GS Susumu Sugiyama tiếp tục làm việc tại Trung tâm Nghiên cứu Triển khai Khu CNC với vai trò là Giám đốc Khoa học cũng như cố vấn cao cấp phòng thí nghiệm bán dẫn của Trung tâm R&D từ tháng 01/2017.
